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團(tuán)隊(duì)超20年的從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，熟知光學(xué)、光譜、電性等行業(yè)測試，我會(huì)在最快的時(shí)間與您聯(lián)絡(luò)；
銷售：廖經(jīng)理
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激光 表面缺陷分析 Onto
PrimaScan 系列
型 號(hào) ：PrimaScan R&D
PrimaScan
PrimaScan P
Celero PL
產(chǎn) 地 ：美國
采用光學(xué)表面分析（OSA）專用技術(shù)的自動(dòng)特征缺陷（DOI）檢測與分類系統(tǒng)。
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Lumina AT1系列
型 號(hào) ：AT1/2
產(chǎn) 地 ：美國
采用光學(xué)表面分析（OSA）專用技術(shù)的自動(dòng)特征缺陷（DOI）檢測與分類系統(tǒng)。
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Lumina AT2系列
● 最高分辨率可達(dá) 100nm PSL
● 全幅面 掃描 最大視場可達(dá)450*450mm
● 軟件自動(dòng)分篩統(tǒng)計(jì)”劃痕，凹凸點(diǎn)，沾污，顆粒"等缺陷
● 透明樣品 可實(shí)現(xiàn)空間缺陷點(diǎn)位（夾層缺陷判別）
● 樣品無形狀要求（不要求圓片）
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Lumina AT-Auto系列
型 號(hào) ：AT1/2
產(chǎn) 地 ：美國
采用光學(xué)表面分析（OSA）專用技術(shù)的自動(dòng)特征缺陷（DOI）檢測與分類系統(tǒng)。
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Lumina AT-EFEM系列
● 最高分辨率可達(dá) 100nm PSL
● 全幅面 掃描 最大視場可達(dá)"600*600mm"
● 軟件自動(dòng)分篩統(tǒng)計(jì)”劃痕，凹凸點(diǎn)，沾污，顆粒"等缺陷
● 透明樣品 可實(shí)現(xiàn)空間缺陷點(diǎn)位（夾層缺陷判別）
● 樣品無形狀要求（不要求圓片）
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