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粗糙度/臺階/角度/ 弧度 (光學(xué)非接觸式)
FocalSpec CT Series
● 重復(fù)精度50納米;
● 完美適應(yīng)“透明","高反光" 等復(fù)雜表面材料
● 可測量平面度、粗糙度、輪廓臺階等3D尺寸
● 最大掃描成像 視場 300*300mm(兼容12" wafer)
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光譜共聚焦3D輪廓儀
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? 適用于透明/高反光 等復(fù)雜樣品表面的掃描成像
? 最大掃描重復(fù)精度可達 50nm
? 2D平面尺寸,3D輪廓高低臺階,3D平面度面型測量,表面粗糙度? 測試,3D-CAD對比功能,線輪廓度,面輪廓度等
? 靈活測試方案,可以做產(chǎn)線自動化訂制;實現(xiàn)在線全檢。
? 最大拼接視野 可達300*300mm
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? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?透明玻璃/高反光金屬? 手機混合類材料3D檢測/測量

? ?平面度/平整度測試/? BGA植絨球

大視野下 納米級 粗糙度表面分析
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KLA-Profilm 3D
● 亞納米級別精度下,
● 最大可實現(xiàn)厘米級視野(自動拼接)
● 平面度/平整度/面型測量,涵蓋粗糙度,臺階輪廓等測量功能;
(KLA知名品牌,售價低,高性價比)
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