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多功能 光譜共聚焦3D輪廓儀
產(chǎn)品特點(diǎn)
案例場(chǎng)景
產(chǎn)品規(guī)格
光譜共聚焦3D輪廓儀
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? 適用于透明/高反光 等復(fù)雜樣品表面的掃描成像
? 最大掃描重復(fù)精度可達(dá) 50nm
? 2D平面尺寸，3D輪廓高低臺(tái)階，3D平面度面型測(cè)量，表面粗糙度? 測(cè)試，3D-CAD對(duì)比功能，線輪廓度，面輪廓度等
? 靈活測(cè)試方案，可以做產(chǎn)線自動(dòng)化訂制；實(shí)現(xiàn)在線全檢。
? 最大拼接視野 可達(dá)300*300mm
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? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?透明玻璃/高反光金屬? 手機(jī)混合類材料3D檢測(cè)/測(cè)量
? ?平面度/平整度測(cè)試/? BGA植絨球
大視野下 納米級(jí) 粗糙度表面分析
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