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Filmetrics R54-系列
08-17
2022
Filmetrics R54-系列
系統(tǒng)優(yōu)勢(shì) ·密閉系統(tǒng)有助于測(cè)量光靈敏或環(huán)境敏感樣品 ·可容納最大直徑為300毫米的樣品 ·可配置四探針(4PP)或非接觸式渦流(EC)模式 ·15毫米的最大樣品高度 ·方塊電阻測(cè)量范圍覆蓋十個(gè)量級(jí) ·...
Lumina 半導(dǎo)體應(yīng)用
05-21
2022
Lumina 半導(dǎo)體應(yīng)用
半導(dǎo)體、硅晶圓、圖案化晶       薄膜缺陷     薄膜缺陷通常是由于工藝條件或涂覆薄膜之前留在表面上的先前污染而導(dǎo)致的涂層均勻性差而導(dǎo)致的薄膜缺...
Filmetrics? R50系列 電阻測(cè)試儀 半導(dǎo)體應(yīng)用
03-17
2022
Filmetrics? R50系列 電阻測(cè)試儀 半導(dǎo)體應(yīng)用
  金屬薄膜均勻性 金屬薄膜的電阻均勻性對(duì)于確保元件性能至關(guān)重要,大多數(shù)金屬薄膜都可以通過(guò)4PP和EC進(jìn)行測(cè)量。EC推薦用于較厚的高導(dǎo)電金屬膜,4PP適用于較薄的金屬膜(> 10Ω/s...
FRT MicroProf?SERIES 產(chǎn)品介紹
03-17
2022
FRT MicroProf?SERIES 產(chǎn)品介紹
    一臺(tái)設(shè)備即可滿足所有3D全景及微觀形貌測(cè)量需求 4種光學(xué)像模式+AFM原子力模式       雙探頭 測(cè)試模式 解決雙面厚度,雙面面型,TTV...