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透明膜層厚度/反射率 -（面型）

透明膜層面型厚度測量

Filmetrics F50-系列

速度快，可形成3D面型厚度分布
XY自動(dòng)采點(diǎn)獲取信息，并行程3D面型數(shù)據(jù)
樣品直徑可達(dá)450毫米
需根據(jù)測量厚度，選擇相應(yīng)波長型號(hào)配置

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透明膜層面型厚度測量

Filmetrics F54

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透明膜層面型厚度測量

Filmetrics F54 XY-200

更加高級(jí)光譜反射系統(tǒng)
XY自動(dòng)采點(diǎn)獲取信息，并行程3D面型數(shù)據(jù)
適用尺寸最大達(dá)到200mm×200mm
需根據(jù)測量厚度，選擇相應(yīng)波長型號(hào)配置

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透明膜層面型厚度測量

Filmetrics F60-T

自動(dòng)化測試膜厚和折射率
XY自動(dòng)采點(diǎn)獲取信息，并行程3D面型數(shù)據(jù)
凹槽自動(dòng)檢測、自動(dòng)基準(zhǔn)確定、全封閉測量平臺(tái)
需根據(jù)測量厚度，選擇相應(yīng)波長型號(hào)配置

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透明膜層面型厚度測量

Filmetrics F60-C

自動(dòng)晶圓傳輸薄膜厚度測繪系統(tǒng)
適用于產(chǎn)線全自動(dòng)膜厚測量
一鍵自動(dòng)測量，操作簡單
自動(dòng)尋找v-槽、自動(dòng)基準(zhǔn)校正、運(yùn)動(dòng)聯(lián)鎖裝置的封閉式測量臺(tái)
需根據(jù)測量厚度，選擇相應(yīng)波長型號(hào)配置

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